İyon implantasyon aletleri için Tungsten & Molibden yedek parçalar

İyon implantasyon aletleri için Tungsten & Molibden yedek parçalar

İyon İmplantasyon Aletleri için Tungsten & Molibden Yedek Parçaları, yarı iletken endüstrisinde, gofret malzemesinin elektriksel özelliklerini, örneğin iletkenliği değiştiren iyonlarla gofretleri doldurmak için yapılan bir vakum işlemidir.İşlem aşağıdaki adımlara bölünmüştür: Bir iyon kaynağında iyonların oluşturulması, seçici implantasyon için iyonların ekstraksiyonu ve kütle ayrımı, ışının sapması, iyon ışınının gofrete hızlanması ve odaklanması.Bir iyon implanterinin bu alanına ışın çizgisi denir.

Kiriş hattındaki parçalar için kullanılan yüksek performanslı malzemeler Tungsten, Molibden, Tantal ve Grafittir.Ayrıca yüksek saflıkta seramik izolatörleri, örneğin BN kullanılır.

Fanmetal, AMAT, Varian ve Axelis'in İyon İmplanterlerinde ışın hattı için yüksek kaliteli sarf malzemeleri ve yedek bileşenler sağlar.Proses iyileştirmeleri için müşterilerin gereksinimlerine göre ekipman yükseltmeleri ve parça modifikasyonları ek bir hizmettir.

Bir iyon implanterdeki iyon ışınının şeması.

İyon İmplantasyon Aletleri İçin Tungsten ve Molibden Yedek Parçaları Resim: